供应鹏城半导体热丝cvd金刚石制备设备

鹏城半导体技术（深圳）有限公司提供供应鹏城半导体热丝cvd金刚石制备设备。

鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体）研发设计制造了热丝cvd金刚石设备（hfcvd 热丝法化学气相沉积设备），分为实验型设备和生产型设备两类。

设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜、硬质合金基金刚石涂层刀具、陶瓷轴承内孔镀金刚石薄膜等。

可用于生产制造领域污水处理用的耐*腐*蚀*金刚石导电电极。

可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。

工件尺寸

圆形平面工作的尺寸：φ650mm。

矩形工作尺寸的宽度1000mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1500mm）。

配置水冷样品台。

热丝电源功率

可达300kw，1kw ～300kw可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）

设备安全性

-电力系统的检测与保护

-设置真空检测与报警保护功能

-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护

-设置水压检测与报警保护装置

-设置水流检测报警装置

设备构成

真空室构成

双层水冷结构，立式圆形、立式d形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。

热丝

热丝材料：钽丝、或钨丝

热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调

热丝不塌腰（解决了热丝长时间加热塌腰的问题）

样品台

可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。

工作气路（cvd）

工作气路根据用户工艺要求配置：

下面气体配置是某一用户的配置案例。

h2(5000sccm，浓度*100*%)

ch4(200sccm，浓度*100*%)

b2h6（50sccm，h2浓度99*%）

ar(1000sccm，浓度00%)

真空获得及测量系统

控制系统及软件

1/3/6/3/2/7/5/0/0/1/7

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